针对TFT-LCD生产线彩色滤光片制作过程中频发的玻璃基板破片问题,构建基于OIC/YMS系统的破片分析数据库软件平台,通过基板在生产线传送过程中与各类设备机构接触点数据库、历史破片破裂点Mapping数据库、基板生产线履历数据库相结合,形成OIC(Operator interface client)录入、YMS(Yield management system)查询的客户端查询平台,实现由软件查询匹配分析替代人工分析,随着数据的积累,可实现快速锁定碎片发生设备、提升分析结果的准确性,并输出针对破片的有效预防项目和维护周期,从而实现破片率的降低。 】第40卷第9期2018-09图1破片分析平台结构图2.2平台信息的录入2.2.1设备接触点信息库建立针对接触点信息库的整理和录入要求如下：生产线智能破片-电动液压滚圆机滚弧机张家港数控钢管滚圆机滚弧机1）录入全部设备单元，名称与OIC系统保持一致；2）统一坐标系，以基板中心为中心点，大切角方向为第一象限；3）为每个单元分别建立接触点信息本文由公司网站网站 转载中国知网整理!   http://www.dapenggunhuji.com/，不同机构的接触点用不同颜色和形状区分；4）将设备单元名称与接触点数据库关联，一个类型的接触点数据库可对应一个或多个设备单元。如图2所示，某设备单元生产中会通过夹持，对位，支撑等方式与玻璃基板进行接触，而接触点都是玻璃基板上固定的位置，以玻璃基板中心为坐标系原点，玻璃长边方向为X方向，短边方向为Y方向，玻璃基板大切角位置为第一象限，得到每一个接触点在这个坐标系的坐标，如（1250，100），（600，-600）等，将所有接触点整理起来，我们就可以把图2设备与玻璃基板的接触点转换为如图3所示接触Map图，将每个设备的接触Map图收集整理并录入系统，接触点信息库建立完成。图2接触点破片履历查询举例图3接触点破片履历查询举例2.2.2历史破片数据库建立：针对历史破片信息要求如下：1）碎片数据信息需包含发现设备、发生设备、异常点、数量、Mapping、破裂点坐标信息；2）碎片的Mapping要和设备接触点系统使用统一坐标系。3平台的应用3.1设备接触点及破片记录查询发生破片后平台中输入整理的破片点坐标（最多可以输入4个），再输入认为需要分析的破片距离（指破片点与设备接触点的距离），平台通过查询事先已注册的接触点信息库，将符合所分析的破片距离为半径内所包含的接触点及其归属的设备单元信息和所有生产线智能破片-电动液压滚圆机滚弧机张家港数控钢管滚圆机滚弧机本文由公司网站网站 转载中国知网整理!   http://www.dapenggunhuji.com/