针对Si基微结构气体传感器中Si基与敏感材料之间附着性较差的问题,提出在Si基与敏感材料之间引入纳米孔Al2O3膜形成新型Si基微结构传感器,利用ANSYS分析软件对微结构进行热分析。采用薄膜工艺、光刻工艺、电化学阳极氧化工艺在Si衬底上制成Si基微结构,采用超声波的方法使聚苯胺敏感材料渗入纳米孔Al2O3膜中制成气体传感器,并在室温下测试了传感器对氨气的检测特性。结果表明:将纳米孔Al2O3膜移植到Si基上增加了敏感材料的附着性;传感器对响应时间约为40 s,恢复时间约为960 s,灵敏度随着氨气浓度的增加而增大,并且呈现出良好的线性关系。基微结构中引入中间层纳米孔Al2O3膜形成新型Si基微结构传感器，通过物理渗透的方式向Al2O3膜的纳米孔内渗透聚苯胺有机材料制成MEMS气体传感器，以NH3为检测对象测试传感器性能。粘度仪的研制-数控滚圆机张家港滚弧机价格低电动液压滚圆机多少钱1传感器设计1．1结构设计为了提高敏感材料与Si基之间的附着性，在Si基微结构中引入中间层纳米孔Al2O3膜，其Si基微结构的结构示意图如图1所示，微加热器和信号电极位于同一层，纳米孔Al2O3膜中间层在微加热器层上方，增加敏感膜与基片之间的附着性，本文由张家港市泰宇机械有限公司大棚滚弧度机网站采集网络资源整理!   http://www.dapenggunhuji.com/ 增加敏感材料的比表面积。图2是加热器的结构示意图，加热器形状是由横条和竖条的加热线条组成，目的是使芯片表面温度均匀;为了降低芯片功耗，粘度仪的研制-数控滚圆机张家港滚弧机价格低电动液压滚圆机多少钱在Si基上设计热隔离结构将芯片中心与周围隔离开来，形成悬浮式微结构，悬梁上的导线将加热器与焊盘连接在一起。图1传感器结构示意图r图2加热器结构示意图整个器件的Si基尺寸为2000μm×2000μm，由于本文设计的微热板是作为气体传感器的加热元件，而微热板加热面积越小，功耗越低，因此，有源区尺寸设计在μm级别，中心加热单元为正方形结构，面积为300μm×300μm，加热器横条的宽度为25μm，竖条的尺寸为30μm，间隔为20μm。信号电极的尺寸为20μm×20μm，纳米孔Al2O3膜的尺寸是300μm×300μm。支撑梁采用弯曲的形式增加长度，宽度与加热器的相同，以此来减小支撑梁的热传导。为测量液体的粘度,设计并研制了一种基于旋转式的高灵敏度且抗电磁干扰的光纤Bragg光栅(FBG)粘度仪。该粘度仪传感器部分由弹性空心圆柱体与定子相连接组成,光栅贴于弹性空心圆柱体内壁。经计算得,该粘度仪的灵敏度为80 pm/(Pa·s)。用蜂蜜和食用油进行实验,在旋转速度同为120 rad/min的条件下,测得的平均动力粘度分别为10.15 Pa·s与6.6 Pa·s。实验结果表明:旋转式FBG粘度仪的测量结果在合理范围以内。粘度仪的研制-数控滚圆机张家港滚弧机价格低电动液压滚圆机多少钱本文由张家港市泰宇机械有限公司大棚滚弧度机网站采集网络资源整理!   http://www.dapenggunhuji.com/